Введение в MICROENGINEERING
МЭМС Микромашины МСТ
Микроактюаторы
( введение )
Электростатические
актюаторы
Магнитные
актюаторы
Пьезоэлектрические
актюаторы
Гидравлические
актюаторы
Тепловые
актюаторы
Микротехнологии
(основы)

Критерии оценки микроактюаторов.

Для оценки качества микроактюаторов используются следующие показатели: Линейность, точность, погрешность, разрешение, воспроизводимость, гистерезис, пороговое значение, холостой ход, шум, дрейф, силовая характерстика, устойчивость, скорость, переходная характеристика, ранжирование, выход по мощности.

Линейность.

·Определяет линейность выходного сигнала как функцию входного.
·Максимальная разница между опорной линейной линией и выходом актюатора.
·Выражена как процент полного выхода.
·Опорные линии: линия, обеспечивающая лучшее соответствие, и линия, построенная по терминальным точкам.

Точность, погрешность, разрешение.

·Точность: насколько точно и воспроизводимо выполнена искомая активация.
·Погрешность:определяет разность между реальным перемещением и целевым.
εa(%)=(Ya-Yt)/Yt
εВПД(%)=(Ya-Yt)/YВПД,
где ВПД - выход полного диапазона)
εВПД٭ εa
·Разрешение: имеется три определения:
1).Наименьший обеспечиваемый шаг.
2).Наименьшее приращение входа, приводящее к обнаружению активации.
3).Наименьший определяемый шаг.

Воспроизводимость.

·Отклонение выходного сигнала по циклам работы:
R=Yi(X)-Yk(X),
i и k определяются по i-му и k-му циклу работы
·Наихудшая воспроизводимость.

Гистерезис, пороговое значение, холостой ход, шум.

·Гистерезис: это разница между выходным сигналом актюатора Y, когда Y получают в двух противоположных направлениях.
·Пороговое значение: Начиная с нулевого входного сигнала, наименьшее начальное приращение входа, которое приводит к обнаружению выходного сигнала актюатора (значение "a" на рис).
·"Мёртвый" ход: холостой ход после смены направления ("b").
·Шум: флуктуации (случайные изменения) в выходном сигнале с нулевым входом.

Дрейф.

·Изменение выходного сигнала актюатора (с постоянным входом) в зависимости от изменения времени, температуры и т.д.

Силовая характеристика и устойчивость.

·Нагрузка изменяет свойства актюатора: кривая сила-перемещение (линия F-X) даёт статическую характеристику.

Амплитуда и чувствительность.

·Амплитуда: полный рабочий диапазон выходного сигнала актюатора.
·Чувствительность: отношение изменения выходного сигнала актюатора ΔY к изменению приращения входного сигнала ΔX.
S=ΔY/ΔX.

Скорость и переходная характеристика.

·Скорость: скорость, с которой изменяется выходной сигнал актюатора:
v=dY/dt.
·Переходная характеристика: резкое изменение выходного сигнала актюатора в ответ на ступенчатый входной сигнал.

Ранжирование.

·Оценка для сопоставления разных методов активации:
DS= -(dη/dV),
где η - выход по энергии, V - объём.
Раздел Критерии оценки микроактюаторов составлен с использованием учебных материалов технологического университета в Тампере. [8]

[предыдущая страница] [главная страница] [следующая страница]
[вверх]

© Лацапнёв Евгений, Яшин К.Д.  mems@tut.by
Кафедра "Интеллектуальные системы". БНТУ.
Гостевая / Ссылки

Сайт управляется системой uCoz