Введение в MICROENGINEERING
МЭМС Микромашины МСТ
Микроактюаторы
( введение )
Электростатические
актюаторы
Магнитные
актюаторы
Пьезоэлектрические
актюаторы
Гидравлические
актюаторы
Тепловые
актюаторы
Микротехнологии
(основы)

Программные средства для моделирования МЭМС.

Появлению программных средств моделирований МЭМС способствовал быстрой рост интеграции МЭМС (моделирующая программа должна помогать разрабатывать системы, которые включают в себя разнообразные физические взаимодействия между разными областями: электрической, механической, тепловой и т.д.), а также увеличение скорости моделирования с целью уменьшения затрат на разработку.В настоящее время, моделирование МЭМС осуществляется, используя прямое численное моделирование или анализ потока сигнала, который очень сложен и требует достаточно много времени для разработки системы из-за низкоуровневого представления, а также, узловое проектирование, которое даёт структурное представление при разработке МЭМС, используя иерархический набор микроэлектромеханических компонентов. Далее будут кратко описаны наиболее известные программные средства, касающиеся проектирования МЭМС устройств.

SUGAR - инструмент моделирования МЭМС устройств.

SUGAR базируется на методах узлового анализа из мира моделирования интегральных схем. Подложки, компоненты интегральных схем, электростатические гэпы и т.д. моделируются маленькой двойной системой дифференциальных уравнений. SUGAR унаследовала своё название и философию от SPICE. МЭМС проектировщик может описывать устройство в компактном формате таблицы соединений, и очень быстро моделировать поведение устройства. Используя простые моделирования в SUGAR, проектировщик может быстро находить проблемы конструкции или испытывать новые идеи. Далее в процессе конструирования, проектировщик может управлять более детальным моделированием конструкции для проверки неявных эффектов второго порядка. Для использования SUGAR требуется MATLAB версии 5.0 или более новая версия.

MEM Research (Микроэлектромеханическая исследовательская группа).

MEM Research выпустила EM3DS 4.2, новое программное средство, хорошо приспособленное для электромагнитного анализа МЭМ-переключателей и конденсаторов. Также доступна полностью свободная версия этой программы. Этот новый инструмент - это интегральный основанный на уравнении полной волны симулятор, использует новый подход: обобщённая поперечная резонансная дифракция (Generalised Transverse Resonance Diffraction (GTRD)), адресованный на решение квази-планарных многослойных схем. В отличие от некоторых MoM методов коммерчески доступных для планарных структур, этот симулятор настоящих 3D устройств, с рассчитанной конечной толщиной и конечной проводимостью реальных проводников. Хотя эта особенность обычно не очень важна в стандартном проектировании печатных плат (PCV), так как диэлектрические потери доминируют и структуры по сравнению с толщиной металлизации очень велики, но это может например повлиять на результаты проектирования монолитных СВЧ интегральных схем (MMIC), где полоса может быть несколько микронов шириной. Так дело обстоит в копланарных волноводах (CPW) и в особенности в МЭМС. EM3DS удобный в работе, очень дешевый электромагнитный инструмент, работающий на PC, так или иначе дополняющий то, что является в настоящее время доступным. Его особенности модифицируются день ото дня, из-за быстрого развития электромагнитных двигателей. Результаты, полученные для MЭM - емкостных переключателей показали силу подхода, ведя к надежным результатам, во всяком случае в настоящее время существующие электромагнитные программные пакеты, кажется, неспособны обеспечить лучшие результаты.

3-D ANISOTROPIC ETCH SIMULATION ON-LINE (Моделирование он-лайн 3- D анизотропного травления).

-Уменьшение времени проектирования МЭМС и уменьшение количества опытных образцов моделированием процесса 3-х мерного анизотропного травления кремния.

CorningIntelliSense Corporation.

- IntelliSuiteT, первая коммерческая Система автоматизированного проектирования для МЭМС устройств, это решение для конструирования, моделирования и оптимизации МЭМС. IntelliSuite начинает процесс для конструирования не от геометрии устройства, а от параметров изготовления механизма. IntelliSuite оптимизирует конструкции MEMS до изготовления, сокращая цикл времени развития опытного образца и сокращая производственные затраты. Объединяя в себе шаблоны процесса производства, данные о материале, топологию фотошаблона, и анализ устройства, IntelliSuite предоставляет проектным группам инструментальный комплекс для разработки технологичных устройств с более высоким КПД.

Nodal Design of Actuators and Sensors (проектирование узловым методом актюаторов и сенсоров).

NODASv1.4 - это библиотека параметризированных компонентов для использования в программе моделирования узловым методом SABER для моделирования МЭМС устройств, получаемых поверхностной микрообработкой. Библиотека составлена из подложек, фотошаблонов, анкеров, электростатических гребневых микродвигателей (горизонтальных и вертикальных), электростатических гэпов (gaps). Компоненты могут быть соединены как для представления устройств, так и более сложных систем. Электрические свойства включены в модели компонентов, предоставляя одновременное выполнение электрического и электромеханического анализа. NODASv1.4 разделяет расчёт расположения элементов от моделирования поведения. Пользователь первоначально создаёт схемное решение, используя обозначения компонентов, использует статические модели для расчёта расположения каждого компонента, и затем генерирует новое описание поведения, используя набор динамических моделей, в которых расположение автоматически определено, как статический параметр компонента. Такой подход уменьшает количество узлов и переменных для каждого множества моделей, таким образом увеличивая общую скорость моделирования, а также помогает устранять ошибки размещения сделанные пользователем.

Coventor, Inc.

Прежде известный как Microcosm Technologies. Coventor это ведущий поставщик программного обеспечения САПР для оптических МЭМС, ВЧ (высокочастотных) МЭМС и жидкостных устройств.

MEMSCAP.

MEMSCAP - ведущий поставщик телекоммуникационных MEMS компонентов, сегодня объявила стратегическую интеграцию своего MEMS инструментальный комплекса, MEMS XplorerT, с инструментом разработки технологического процесса " систем на чипе " (SOC) Cadence Design Systems, Inc.

Tanner Research.

Tanner Research- разрабатывает и продает САПР электронных устройств большим и маленьким компаниям по всему миру.
Раздел Программные средства для моделирования МЭМС составлен с использованием материалов расположенных на сайте Нано и микротехнологий. [11]


[предыдущая страница] [главная страница] [следующая страница]
[вверх]

© Лацапнёв Евгений, Яшин К.Д.  mems@tut.by
Гостевая / Ссылки
Сайт управляется системой uCoz