Введение в MICROENGINEERING
МЭМС Микромашины МСТ
Микроактюаторы
( введение )		 Электростатические
актюаторы		 Магнитные
актюаторы		 Пьезоэлектрические
актюаторы		 Гидравлические
актюаторы		 Тепловые
актюаторы		 Микротехнологии (основы)

Гидравлические актюаторы

  Несмотря на проблемы связанные с прохудившимися клапанами и самоблокировками (проблема многих жидкостных микросистем), гидравлические микроактюаторы имеют значительный потенциал, так как они могут передавать довольно много энергии от внешнего источника по очень узким трубкам. Это факт можно использовать в таких местах как наконечник катетера, смонтированного микрохирургического инструмента.
  Для производства микротурбин может использоваться LIGA технология (рис14). Эта микротурбина обеспечивает энергией режущий микроинструмент.

рис 14.

Отметим следующие особенности гидравлических микроактюаторов:
 -имеет довольно большие размеры и высокий уровень выходных сил.
 -может иметь нулевое трение и близкое к холостому ходу свободное преобразование энергии.
 -области применения: используется в поршневых, стержневых системах, в металлических сильфонах и резиновых(каучуковых) компонентах.
Раздел Гидравлические микроактюаторы составлен с использованием учебных материалов Д. Бэнкса и университета в Тампере. [1,8]

[предыдущая страница] [главная страница] [следующая страница]
[вверх]
© Лацапнёв Евгений, Яшин К.Д.  mems@tut.by
Кафедра "Интеллектуальные системы". БНТУ.
Гостевая / Ссылки
Rambler's Top100 Rating All.BY
Сайт управляется системой uCoz